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真空ロウ付け

真空ロウ付けについて

  1. 真空炉を使用してロウ付けをする。
  2. 真空度　1〜1.0×10-3Pa。
  3. ロウ材　Niロウ、Agロウ、Cuロウ、活性Agロウ
  4. 方法　接合面に予め置ロウをして真空炉に装入。
  5. 処理法　ロウが溶ける直前の温度で母材を予熱後、ロウの溶融温度に加熱。
  6. 材料　SUS/SUS,SUS/Cu,Cu/Cu,Cu/Hf,　その他Pt,INCONEL

 

 

 

 

 

 

 

真空ロウ付けの特長

  1. 歪が少なく、精度が良い。
  2. フラックスを使わないので、汚染がなく、外観が良い。
  3. 残留フラックスによる腐食の問題がない。
  4. 複雑な形状の接合や、多数個所の接合が容易である。
  5. 特殊な材料や異種材料の接合ができる。
  6. 真空脱ガス作用により接合部に気泡が残りにくい。
  7. 母材が溶融しないので、再加熱が可能である。
  8. 再加熱により接合部を離す事ができる。
  9. 作業環境が良好。
  10. 後処理の必要がない。

 

 

 

 

 

 

 

適用分野と応用例

  1. 半導体関係 冷却ユニット、冷却ジャケット、バッキングプレート、各種ターゲット
    （必要機能：気密性、耐圧性、耐食性）
  2. 精密機器関係 液滴リファレンス、気送パイプ --- 測定機器
    燃焼室用各種センサー及びカバー --- エンジン燃焼試験用
    （必要機能：気密性、耐食性、耐熱性）
  3. 自動車関係 溶接ロボット用電極、排ガス対策用ハニカム
    （必要機能：耐食性、高温強度）
  4. 医療機器関係 アダプター（レーザーメス用）（気密性、人体無害）
  5. 真空機器関係 給排気管、冷却管、電流導入端子（電子顕微鏡部品）

現在開発中のロウ付け技術

  1. アルミニウム（A6061,A5052）の真空ロウ付け。
  2. 難接合材（Ｗ，Ｎｂ等）の接合。
  3. 活性金属ロウによるアルミナとコバール、パーマロイの接合。