真空ロウ付け
真空熱処理炉を使用し、1Pa～1.0×10⁻³Paの真空度の範囲でロウ付けを行います。ロウ材はNiロウ、Agロウ、活性Agロウ等を使用し、接合面に予め置ロウをして真空炉に装入します。ロウ材が溶ける直前の温度で母材を予熱後、ロウ材の溶融温度に加熱します。
真空ロウ付けの特長
- 歪が少なく、精度が良好です。
- フラックスを使わないので、汚染がなく外観が良好です。
- 残留フラックスによる腐食の問題がありません。
- 複雑な形状の接合や、多数個所の接合が容易にできます。
- 特殊な材料や異種材料の接合ができます。
- 真空脱ガス作用により接合部に気泡が残りにくくなります。
- 作業環境が良好です。
- 後処理の必要がありません。
真空ロウ付けの応用例
| 半導体関係 | 冷却ユニット、冷却ジャケット、バッキングプレート、各種ターゲット |
|---|---|
| 精密機器関係 | 液滴リファレンス、気送パイプ、測定機器、燃焼室用各種センサー、カバーエンジン燃焼試験用 |
| 自動車関係 | 溶接ロボット用電極、排ガス対策用ハニカム |
| 医療機器関連 | レーザーメス用アダプター |
| 真空機器関係 | 給排気管、冷却管、電流導入端子 |
